臺階儀二維超精密測量微觀形貌
臺階儀通過掃描被測樣品表面，獲取高分辨率的表面形貌數(shù)據(jù)，能夠揭示微觀結(jié)構(gòu)的特征和性能。 `MC5_SG 1
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了解工作原理和性能特點 J b?x-%Za
臺階儀利用掃描探針在樣品表面上進行微觀測量，通過探測探針和樣品表面之間的相互作用力，獲取表面形貌信息。具體而言，掃描探針通過細微的力變化，測量樣品表面的起伏程度以及凹凸部分的高度差。然后通過數(shù)據(jù)處理，形成高分辨率的圖像。 }fZ~HqS2w
它能夠?qū)崿F(xiàn)納米級別的測量，對微觀結(jié)構(gòu)的細節(jié)進行觀測和分析，揭示出表面的微觀特征；還具備高速掃描的能力，實現(xiàn)快速獲取樣品的形貌數(shù)據(jù)。 Aaug 0X
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功能和作用介紹 $[0\ Th
作為一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，臺階儀可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。測量參數(shù)： V='A;gs
（1）臺階高度：能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度； >ud u~
（2）粗糙度與波紋度：可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數(shù)； Vl/fkd,Z
（3）翹曲與形狀：能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲。 F60?% g g
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臺階儀的應(yīng)用 _sAcvKH
臺階儀具有廣泛的適用范圍，在科學(xué)研究、材料表征、納米技術(shù)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域都有應(yīng)用。如在半導(dǎo)體制造中，臺階儀可以用于檢測半導(dǎo)體材料表面的缺陷和形貌，為半導(dǎo)體器件的開發(fā)和生產(chǎn)提供可靠的數(shù)據(jù)參考。 \ 0/m$V.
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測量晶圓表面粗糙度 `_e5pW=:>
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臺階儀具備出色的精確性和穩(wěn)定性，而且樣品適應(yīng)面廣，對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求。在材料科學(xué)、制造業(yè)、科研等領(lǐng)域都有著重要的應(yīng)用價值。相信隨著科技的不斷發(fā)展，臺階儀將會在測量領(lǐng)域發(fā)揮更加重要的作用。 d+p^fBz
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臺階儀優(yōu)勢總結(jié) sspGB>h8l
1、高精度的測量能力 d)kO W!5\
臺階儀在微觀表面形貌的測量中非常準確，能夠滿足高精度測量的需求。CP系列臺階儀具有亞埃級分辨率，結(jié)合單拱龍門式設(shè)計降低環(huán)境噪聲干擾，確保儀器具有良好的測量精度及重復(fù)性。其500萬像素高分辨率彩色攝像機，即時進行高精度定位測量。 PQ
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