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2024-03-04 07:54 |
TRCX應(yīng)用：顯示面板工藝裕量分析
制造顯示面板的主要挑戰(zhàn)之一是研究由工藝余量引起的主要因素，如CD余量，掩膜錯(cuò)位和厚度變化。TRCX提供批量模擬和綜合結(jié)果，包括分布式計(jì)算環(huán)境中的寄生電容分析，以改善顯示器的電光特性并最大限度地減少缺陷。 mYqR N1%
[attachment=126695] q/t~`pH3
（a）參照物 =]F15:%Z q
[attachment=126696] Js!V,={iX
（b）膜層未對(duì)準(zhǔn)
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