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2024-05-13 07:54 |
全場光學(xué)相干掃描干涉儀
摘要 Vk}49O<K/
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掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術(shù)。 通過利用白光光源的低相干性，僅當光程長度差在相干長度內(nèi)時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測量表面平滑變化的樣品。 M##';x0
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建模任務(wù) ?nFO:N<
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仿真干涉條紋 sQ1jrkm
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走進VirtualLab Fusion ,4@|1z{bfm
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VirtualLab Fusion中的工作流程 e<=;i" |
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•設(shè)置輸入場 ) pgrl
−基本光源模型[教程視頻] (GU9p>2
•使用導(dǎo)入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 :@. ;
•定義元件的位置和方向 }E&NPp>
− LPD II：位置和方向[教程視頻] UQ8bN I7
•正確設(shè)置通道以進行非序列追跡 e>H :/24
−非序列追跡的通道設(shè)置[用例] -q>^ALf|@>
•使用參數(shù)運行檢查影響/變化 :BZ0 7`9
−參數(shù)運行文檔的使用[用例]
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