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2024-05-13 07:55 |
白光邁克爾遜干涉儀
1.摘要 sHt
PO[h v#HaZT]u 白光干涉儀是一種非接觸測(cè)量技術(shù),用于如表面輪廓或微小位移的高精度測(cè)量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長(zhǎng)度等光譜特性,結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長(zhǎng)度基本相同時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 xaM?
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Xe R')D~JJ<8a 2. 建模任務(wù) dBB;dN AGH7z [attachment=128502] G>3]A5 >z(AQ 3. 干涉條紋的變化 -zzM!1@F c@+
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