中國(guó)科大在高性能二維半導(dǎo)體晶體管領(lǐng)域取得重要進(jìn)展

近日，中國(guó)科大微電子學(xué)院石媛媛教授課題組設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了一種直接在硅片上制造大規(guī)模單層(Monolayer, ML)單晶MoS2高性能晶體管陣列的集成方法，相關(guān)研究成果成功入選2024 Symposium on VLSI Technology and Circuits（以下簡(jiǎn)稱VLSI Symposium）。 )DmiN