SYNOPSYS 光學(xué)設(shè)計(jì)軟件課程七十九：反射式光刻物鏡設(shè)計(jì)
一．概述 *VeRVaBl
隨著光刻分辨率的不斷提高，光學(xué)光刻機(jī)中采用的投影物鏡結(jié)構(gòu)型式經(jīng)歷了演變和篩選過程。在早期的低分辨率光刻機(jī)中，全反射型、全折射型、折反射型多種結(jié)構(gòu)型式并存：在目前的高分辨率光刻機(jī)中，全折射式結(jié)構(gòu)型式是主流。 z2c6T.1M
Je @v8{][|
與全折射式結(jié)構(gòu)型式相比，折反射式結(jié)構(gòu)的投影物鏡具有許多優(yōu)越的光學(xué)性能，但其在光刻機(jī)中的真正使用尚需克服許多技術(shù)問題。在現(xiàn)代高分辨率光學(xué)光刻機(jī)中，投影物鏡的結(jié)構(gòu)型式大致分為兩類：全折射型和折反射型。 F?cK- .
+#By* ;BJ
全折射型投影物鏡是指只含有透鏡的投影物鏡，而折反射型投影物鏡則是同時(shí)含有透鏡和反射鏡的投影物鏡。 .
.- hAH
hcc/=_hA
二．SYNOPSYS自由曲面設(shè)計(jì)功能 W m|lSisY
受限于EUV（極紫外光）使用的波長為13.5nm，由于該波段的光幾乎沒有光學(xué)材料可以透過，因此為了使用更短的波長，此類光刻物鏡只能采用完全反射式進(jìn)行設(shè)計(jì)。 VX/#1S tC
7.T?#;'3
SYNOPSYS的自由曲面設(shè)計(jì)功能可以非常方便快捷地設(shè)計(jì)自由曲面反射式光學(xué)系統(tǒng)。 HThcn1u~^b
7KPwQ?SjT
只需要輸入每個(gè)反射鏡的初始位置、形狀，以及系統(tǒng)的物方參數(shù)和像方要求，此功能會自動(dòng)生成對應(yīng)的優(yōu)化文件和初始結(jié)構(gòu)。 G`zm@QL
G
j1_!.T
宏文件和鏡頭文件可以評論區(qū)留言領(lǐng)取 [Yyk0Qv|4
{)"vN(mX
[attachment=129448] fV:83|eQ
三．反射式光刻物鏡優(yōu)化結(jié)果 b\ PgVBf9
得到優(yōu)化的宏文件可以評論區(qū)留言領(lǐng)取
Y~Ifj,\
H[UlY?&+
調(diào)整優(yōu)化宏，進(jìn)一步優(yōu)化反射鏡的形狀以達(dá)到更好的成像質(zhì)量。額外的質(zhì)量要求都可以在優(yōu)化文件內(nèi)按需要增加或調(diào)整。 jtc~D L
:!/8 Hv
[attachment=129449] DJ%PWlK5
對應(yīng)鏡頭文件可以評論區(qū)留言領(lǐng)取 {U1m.30n
w:l"\Tm
[attachment=129450] vj*%Q(E6Pt
[attachment=129451] ,P Z ge
軟件自動(dòng)優(yōu)化功能，會自動(dòng)將反射鏡的位置優(yōu)化匹配到不會影響光線軌跡的情況。（對比圖可以看到，優(yōu)化后的結(jié)果和未優(yōu)化的效果圖）如上圖鏡頭文件的pad二維窗口顯示，光線在各個(gè)反射鏡之間傳遞，無任何光線軌跡被遮擋的情況。 ?8 {"x8W;
!wp3!bLp
畸變在1.6% 8] ikygt"
~v83pu1!2s
[attachment=129452] Th[dW<
|