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小火龍果 2024-07-24 10:04

SYNOPSYS 光學(xué)設(shè)計(jì)軟件課程七十七：紫外光刻鏡頭設(shè)計(jì)

一.光刻技術(shù)簡介
3P2{M}WIl  
光刻是在集成電路制造過程中非常重要的步驟，是制造芯片的核心設(shè)備。 x'x5tg  
芯片的復(fù)雜細(xì)微三維結(jié)構(gòu)就是通過光刻機(jī)把掩膜的圖形轉(zhuǎn)印到光刻膠上，再通過刻蝕工藝轉(zhuǎn)移到硅片上。 FDLo|aP/v  
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