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成東青 2024-08-28 17:30

DOE光束整形使用上的問題

各位老師,你們好,我使用HOLOOR公司的DOE,光束通過DOE后進(jìn)入振鏡、場鏡加工,在加工平面上我們發(fā)現(xiàn)了一些現(xiàn)象:即連續(xù)從左到右振鏡掃描10行,這10行光斑形貌記為A;把振鏡歸0,又在相同的位置,從右到左振鏡掃描10行,這10行光斑形貌記為B,A和B是不一樣的,但是A和B中分別每一行,光斑形貌是差不多的;具體差別如下圖, w+r).PS}C  
也就是說因?yàn)檎耒R運(yùn)動(dòng)方向的不同,焦點(diǎn)處光斑形貌也會(huì)發(fā)生變化,具體差別是有一個(gè)方向的光斑會(huì)有暗點(diǎn),這是什么原因呢?請求指教,謝謝。 {\vVzy,t7  
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