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2024-09-11 07:56 |
非傍軸衍射分束器的設(shè)計與嚴(yán)格分析
摘要 $4ZDT]n ;wYwiSVd uBL~AC3>O 非傍軸衍射光束分束器的直接設(shè)計仍然是一個挑戰(zhàn)。由于衍射角度相當(dāng)大,元件的特征尺寸與光的波長相近。因此,通常使用的傍軸建模方法變得不準(zhǔn)確,需要嚴(yán)格的技術(shù)。因此,在這個例子中,迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光學(xué)元件(DOE)的初步設(shè)計,并且之后使用傅里葉模式方法(FMM)也稱為嚴(yán)格耦合波分析(RCWA)進(jìn)行嚴(yán)格的性能評估,包括在高度變化的情況下對優(yōu)點函數(shù)變化的研究。 ]P ?#lO6 uhN(`E@ 任務(wù) HU.6L'H* • 使用傍軸近似(TEA)進(jìn)行衍射1:7×7光束分束器的初步設(shè)計,用于結(jié)構(gòu)設(shè)計部分。 URzE+8m^ • 使用嚴(yán)格分析(FMM/RCWA)對性能進(jìn)行分析和進(jìn)一步優(yōu)化,以提高均勻性并評估零階的影響。 /-<m(72wF kHIQ/\3?Q J;]@?( 模擬與設(shè)置:工具簡介與整體流程概覽 ~>-;(YU"t 連接建模技術(shù):衍射光束分束器 6s"bstc{ x`|tT%q@l I`}vdX) 通過配置助手和IFTA進(jìn)行相位設(shè)計 z(#hL-{c OQb9ijLeK 1Qe!
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