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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 如何降低薄膜吸收？ [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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guji2015	2024-10-16 11:26
如何降低薄膜吸收？做的一個(gè)氧化鉿單層的材料實(shí)驗(yàn)，開了離子源輔助，鍍出來發(fā)現(xiàn)膜層吸收較大。請教一下各位大佬，為降低吸收，工藝該從那些方面調(diào)整？ n6PXPc >&\|C E2' [attachment=130433] ccUq!1

度魔銀	2024-10-16 14:58
1.溫度是不是300度，離子源充氧過大也會(huì)吸收

度魔銀	2024-10-16 15:10
離子源清洗，不開源鍍，基板加溫300℃-350℃，恒溫一小時(shí)鍍膜，材料充氧10sccm,此參數(shù)僅供參考

度魔銀	2024-10-16 15:12
補(bǔ)充一下，速率控制在2.0A/左右

xiezhizhi	2024-12-23 13:48
增加氧氣就可以了 3aL8 gE

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