光學(xué)測量系統(tǒng)的分析與公差

VirtualLab Fusion 軟件可以對光學(xué)測量系統(tǒng)進(jìn)行仿真，如干涉儀、光譜儀以及表面測量器件。 OdL/%Zp
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很多光學(xué)測量原理都是基于光的波動(dòng)特性。典型的器件有： bZK^q B  
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 干涉儀 +DR{aX/ll  
 光譜儀&單色儀 H*P+>j&  
 表面計(jì)量系統(tǒng) ccp9nXv  
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VirtualLab Fusion 軟件可以對這些測量系統(tǒng)進(jìn)行仿真及公差分析。許多設(shè)置都是以衍射效應(yīng)、干涉效應(yīng)以及時(shí)間和空間相干性為特點(diǎn)。VirtualLab的場追跡引擎進(jìn)行快速精確的測量系統(tǒng)建模的同時(shí)考慮了這些物理光學(xué)效應(yīng)。  6pfkv2.}  
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B., BP  
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VirtualLab Fusion軟件的特性： ?4Fev_5m
  
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 基于物理光學(xué)的計(jì)量系統(tǒng)仿真 ^N 4Y*NtV7  
 包含部分相干和衍射效應(yīng) _#+l
?\u  
 尤其對傾斜和偏移的公差分析 aNQ(xiskb  
 真彩色獲取 Wg,@S*x(  
 便于使用的位置概念 3>73s}3  
 干涉條紋的計(jì)算 ;l `Ufx  
 測繪掃描系統(tǒng)的仿真 Wa.!eAe}  
 全譜段高分辨率分析 *yo'Nqu  
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用于表面拓?fù)錅y量的白光邁克爾遜干涉儀的仿真。整個(gè)系統(tǒng)中部分相干的白光可以利用VirtualLab Fusion仿真。

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