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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 銀內(nèi)反膜，保護(hù)膜一拉就脫落，怎么回事？ [點此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

songyanxia 2024-12-07 13:32

銀內(nèi)反膜，保護(hù)膜一拉就脫落，怎么回事？

膜系結(jié)構(gòu):氧化鋁+銀+氧化鋁（不帶源）+氧化鋁（帶源）+氧化硅（帶源）�，F(xiàn)在鍍下來，用膠帶拉，保護(hù)膜會脫落。請教各位有什么辦法解決。
shenhan0701 2024-12-09 10:51
鍍前有開離子源打一下基板嗎？
songyanxia 2024-12-09 18:36
shenhan0701:鍍前有開離子源打一下基板嗎？ (2024-12-09 10:51)  #+G`!<7/@f  
eV;me>,  
有的，預(yù)處理�，F(xiàn)在是銀膜層沒問題，他外面的保護(hù)膜一拉就會掉。
蔡沛峰 2024-12-16 09:09
內(nèi)側(cè)結(jié)合力的問題，為什么不在內(nèi)側(cè)用IBS
ouyuu 2024-12-18 21:46
感覺還是工藝問題。你的離子源可以用氬嗎？速率和溫度是多少？適當(dāng)調(diào)整離子源或者溫度看下會不會緩解。
coldking 2025-01-21 11:33
材料不夠黏 g!^J