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mark_chen 2025-01-18 20:08

透鏡加工技術(shù)交流

使用半導(dǎo)體光刻工藝量產(chǎn)平面透鏡的詳細(xì)步驟: F"G]afI9+  
一、設(shè)計(jì)階段 $;k2b4u  
首先,根據(jù)平面透鏡的預(yù)期用途(如成像、聚焦等),使用光學(xué)設(shè)計(jì)軟件(如 Zemax、Code V 等)來確定透鏡的光學(xué)參數(shù)。這些參數(shù)包括焦距、數(shù)值孔徑、工作波長范圍等。例如,對(duì)于一個(gè)用于可見光成像的平面透鏡,可能需要設(shè)計(jì)其焦距為 5mm,數(shù)值孔徑為 0.3,工作波長在 400 - 700nm 之間。 _NwB7@ e  
根據(jù)光學(xué)設(shè)計(jì)結(jié)果,生成透鏡的表面輪廓數(shù)據(jù)。這個(gè)輪廓數(shù)據(jù)描述了透鏡表面的高度變化,通常以數(shù)字形式存儲(chǔ),它將作為光刻工藝中的圖案設(shè)計(jì)基礎(chǔ)。 9/yE\p .  
光刻掩模設(shè)計(jì) NKy