| sorry6741 |
2007-05-17 17:18 |
請問如何解決濺鍍時針孔問題
我們公司是做mirror的，可是鍍完後針孔非常多(濺鍍機為直立式)，大小在0.3~0.4mm，實在是很難解決，靶材距離基板150mm，膜層第一層有打底，我想問的是： kjNA~{
1.靶材和基板距離對針孔產(chǎn)生會有影響嗎？ ^+`vh0TPQ
2.磁場分佈不均勻會有影響嗎？ 7;CeQx/W)W
3.基板材質(zhì)會有影響嗎？ c::x.B"w
4.不同底層會有影響嗎？ 7S]
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5.機臺內(nèi)部環(huán)境(粉塵)會有影響嗎？ N#7
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