| memser |
2007-11-07 21:35 |
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臺(tái)階儀不是接觸式測(cè)量嗎？探針接觸掃描曲線，為什么還要有對(duì)比度呢，難道我們用的臺(tái)階怡不一樣，實(shí)在不明白，我只知道膜厚太小，《1000A測(cè)的不準(zhǔn)。不過(guò)這個(gè)測(cè)的不準(zhǔn)，用橢偏儀或者VYKO三維輪廓儀測(cè)吧。不過(guò)用橢偏儀你得知道K-9玻璃的law文件才能測(cè)，用VYKO你得光刻做個(gè)臺(tái)階后才行，都比較準(zhǔn)吧。再不就用膜厚儀吧，不怎么準(zhǔn)，因?yàn)檎凵渎适窃O(shè)定了的，而且可能還不行，因?yàn)闆]有你這基底啊。
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