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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 請教：離子輔助蒸發(fā)帶來的問題。 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

imute 2005-12-08 20:36

請教：離子輔助蒸發(fā)帶來的問題。

最近鍍YAG晶體，采用的是離子輔助蒸發(fā)的方法，牢固度，光學(xué)特性都很好，但是發(fā)現(xiàn)表面又很多點(diǎn)。不用離子源就會好狠多，不是何原因？我用的時考夫曼源，能量在200V以下，應(yīng)該不算高。請各位大蝦指教。
birdy 2005-12-09 17:16
有可能是真空室不夠干凈，有浮塵。
imute 2005-12-09 17:48
請教一樓，離子源能把浮塵打下來嗎？我問過空間中心的人，他們說不可能。我也搞不清咋回事了。
livego 2005-12-09 18:20
這個應(yīng)該就是工藝問題了，以前記得在哪里也見到過這個問題，后來不知道他們怎么解決的，潔凈度、真空度、返油、烘烤溫度等都有可能。
birdy 2005-12-10 11:20
不好意思，我自己也沒有用過離子源，只是聽人家說過有這種情況
birdy 2005-12-10 11:20
哈哈，你可以咨詢一下3樓的啦
洪亮 2005-12-12 13:55
真空室潔凈度不高造成
imute 2005-12-13 22:32
請教六樓，你們?nèi)绾吻逑凑婵帐夷�？我們一般用砂紙打磨后，再用布和酒精擦拭，看來這樣是不是不行呀？！
flyinlove79 2005-12-21 17:59
我們直接把護(hù)皮取下來，在水里用砂紙打磨，別的地方就直接用砂紙打磨，再用布和酒精擦拭啦
imute 2005-12-22 14:53
我們基本上也是這么做的，不過有些地方實(shí)在是不好清洗，我們用的是南光的鍍膜機(jī)。請問8樓的版主在那里高就，是南方還是北方？
shuangzixing 2005-12-22 18:08
我們清洗真空室都把護(hù)板.工轉(zhuǎn)盤.修正板基本上把里面的東西都拿下了用細(xì)砂打過.再用乙醚擦拭
flyinlove79 2005-12-22 18:10
哈哈，我在西安呢，有時間過來玩啊
imute 2005-12-26 12:58
西安也是藏龍窩虎之地呀！有機(jī)會一定去拜訪，倒是版主可別說不認(rèn)識我呀
zhwp-80 2006-01-05 23:18
直接把護(hù)皮取下來，在水里用砂紙打磨，別的地方就直接用砂紙打磨，再用布和酒精擦拭
wangchao04 2006-09-12 18:28
是離子源臟   清洗離子源   不用離子源沒問題 應(yīng)該不是真空室臟
chaliek 2006-09-14 11:39
不清楚你的偏壓用的是多少？適當(dāng)?shù)脑黾悠珘嚎赡軙兴纳�，不妨試一�?
msy 2006-10-02 22:48
其實(shí)像離子輔助蒸發(fā)基板有很多點(diǎn),我們俗稱微塵,除了和潔凈度、真空度、返油、烘烤溫度以外,我想還有可能與你機(jī)器設(shè)置有關(guān)系了,你鍍膜機(jī)是什么牌子的,在鍍膜時候需要沖氧氣\還是氬氣,還有你的膜料,保存是否完好?最好膜料放在干燥柜里面!
ddm 2006-10-05 13:34
作鍍膜需要的是細(xì)心 , 清機(jī)很多小地方都不能遺漏 .
vacuumtech 2006-10-15 21:19
不懂但下來，學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)
雪紛飛 2006-10-31 13:54
這個應(yīng)該就是工藝問題了，以前記得在哪里也見到過這個問題，后來不知道他們怎么解決的，潔凈度、真空度、返油、烘烤溫度等都有可能。
qx__wei 2009-08-07 15:34
噴砂機(jī)��！
wangxingyu 2010-01-11 16:00
我以前做過，經(jīng)常出現(xiàn)樓主那樣的情況！有空請聯(lián)系我 6iZ:0y0t+6  
QQ：752679967
聶凱 2010-05-04 23:55
它不就是清潔表面 加固膜強(qiáng)度的嗎
sauke 2010-05-21 10:43
離子源輔助蒸發(fā),如果離子源功率太大,也可能會破壞基底的
wflney 2019-12-30 22:50
車間換件和真空室潔凈度不高造成
小小叔 2020-02-25 15:21
就像23樓說的，可能是離子源功率太大了把片子打傷了
sosjinyan 2020-03-28 07:46
傷和臟點(diǎn)   是能分出里的，如果是離子源造成的點(diǎn)傷，應(yīng)該是樹脂鏡片，玻璃的打不傷。 ?L'4*S]  
臟點(diǎn)的話，感覺是離子源臟。   不知道充的氣體是否有影響。
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