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shuangzixing 2005-12-19 12:20

請(qǐng)教鍍膜中碰到的問題

前幾天在鍍可見區(qū)增透膜時(shí),在鍍的時(shí)候沒發(fā)現(xiàn)異常情況可出罩時(shí)發(fā)現(xiàn)在基片上有很小的亮點(diǎn).不是膜點(diǎn).不能擦掉.做了3罩每罩都有一快.請(qǐng)老師判斷.材料是氧化鋯.氧化硅.氟化鎂
flyinlove79 2005-12-19 17:14
如果基底確實(shí)處理干凈了 OV>& `puL  
就看預(yù)熔材料的時(shí)候，擋板有沒有擋住 F^ q{[Z  
氟化鎂除氣有沒有徹底，這個(gè)材料容易上點(diǎn)子 PK\Z