馬大哈 |
2008-07-21 10:58 |
氮化物襯底材料在半導(dǎo)體照明中的應(yīng)用
寬帶隙的GaN基半導(dǎo)體在短波長(zhǎng)發(fā)光二極管、激光器和紫外探測(cè)器,以及高溫微電子器件方面顯示出廣闊的應(yīng)用前景;對(duì)環(huán)保,其還是很適合于環(huán)保的材料體系。半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)發(fā)展分類所示的若干主要階段,其每個(gè)階段均能形成富有特色的產(chǎn)業(yè)鏈。世界各國(guó)現(xiàn)在又投入了大量的人力、財(cái)力和物力,以期望取得GaN基高功率器件的突破,并且居于此領(lǐng)域的制高點(diǎn)。“氮化物襯底材料與半導(dǎo)體照明的應(yīng)用前景”文稿介紹了氮化物襯底材料與半導(dǎo)體照明的應(yīng)用前景的部分內(nèi)容。 Y5Ub[o .YT&V GaN、AlN、InN及其合金等材,是作為新材料的GaN系材料。對(duì)襯底材料進(jìn)行評(píng)價(jià)要就襯底材料綜合考慮其因素,尋找到更加合適的襯底是發(fā)展GaN基技術(shù)的重要目標(biāo)。評(píng)價(jià)襯底材料要綜合考慮襯底與外延膜的晶格匹配、襯底與外延膜的熱膨脹系數(shù)匹配、襯底與外延膜的化學(xué)穩(wěn)定性匹配、材料制備的難易程度及成本的高低的因素。InN的外延襯底材料就現(xiàn)在來(lái)講有廣泛應(yīng)用的。自支撐同質(zhì)外延襯底的研制對(duì)發(fā)展自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的氮化物半導(dǎo)體激光器、大功率高亮度半導(dǎo)體照明用LED,以及高功率微波器件等是很重要的!暗镆r底材料的評(píng)價(jià)因素及研究與開(kāi)發(fā)”文稿介紹了氮化物襯底材料的評(píng)價(jià)因素及研究與開(kāi)發(fā)的部分內(nèi)容。 >C1**GQ f-O`Pp FQ 氮化物襯底材料與半導(dǎo)體照明的應(yīng)用前景 C]xKdPQj% Pz/bne;= GaN是直接帶隙的材料,其光躍遷幾率比間接帶隙的高一個(gè)數(shù)量級(jí)。因此,寬帶隙的GaN基半導(dǎo)體在短波長(zhǎng)發(fā)光二極管、激光器和紫外探測(cè)器,以及高溫微電子器件方面顯示出廣闊的應(yīng)用前景;對(duì)環(huán)保,其還是很適合于環(huán)保的材料體系。 }!W,/=z* `h:$3a:5 1994 年,日本的Nicha公司在GaN/Al2O3上取得突破,1995年,GaN器件第一次實(shí)現(xiàn)商品化。1998年,GaN基發(fā)光二極管LED市場(chǎng)規(guī)模為 US$5.0億,2000年,市場(chǎng)規(guī)模擴(kuò)大至US$13億。據(jù)權(quán)威專家的預(yù)計(jì),GaN基LED及其所用的Al2O3襯底在國(guó)際市場(chǎng)上的市場(chǎng)成長(zhǎng)期將達(dá)到 50年之久。GaN基LED及其所用的Al2O3襯底具有獨(dú)特的優(yōu)異物化性能,并且具有長(zhǎng)久耐用性。預(yù)計(jì),2005年GaN基器件的市場(chǎng)規(guī)模將擴(kuò)大至US $30億,GaN基器件所用的Al2O3襯底的市場(chǎng)規(guī)模將擴(kuò)大至US$5億。 _,U`Iq+X BM@:=>ypQ 半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)發(fā)展分類所示的若干主要階段,其每個(gè)階段均能形成富有特色的產(chǎn)業(yè)鏈: UZ`G
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