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求助：用氧化銦錫陶瓷靶與用銦錫合金靶要如何設(shè)置參數(shù)
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b57322710
2008-07-30 10:10
求助：用氧化銦錫陶瓷靶與用銦錫合金靶要如何設(shè)置參數(shù)
求助：用氧化銦錫陶瓷靶與用銦錫合金靶分別如何設(shè)置參數(shù)
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磁控濺射的
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現(xiàn)在網(wǎng)上找的一些資料說濺射溫度90 濺射功率200W AR與O2的分壓比為40：10
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