| singo2010 |
2008-08-06 16:15 |
德國DATARIUS公司涂層測厚儀及色彩分析儀
德國DATARIUS公司涂層測厚儀及色彩分析儀 q@sH@-z4]
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厚度測量儀適用于研發(fā)和半導(dǎo)體、FPD、納米技術(shù)、電子材料及特殊薄膜生產(chǎn)線中的薄膜測厚，例如在半導(dǎo)體行業(yè)，需根據(jù)圖樣精確地獲取晶圓表面的各個薄膜沉積。薄膜測量系統(tǒng)是用來監(jiān)控工序并通過測量薄膜的厚度決定產(chǎn)品的質(zhì)量。 9 Ac t<( V
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測量薄膜厚度有許多種方法。其中最常見的是基于機械技術(shù)的觸針方法。顯微鏡技術(shù)和光學(xué)技術(shù)。 "J.jmR;
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K-MAC公司的薄膜厚度測試系統(tǒng)，采用的是光學(xué)技術(shù)方法。因而由薄膜表面的反射光和基板表面反射光之間的干涉現(xiàn)象或是光的相位差決定薄膜的性質(zhì)，這樣我們不但可以測量薄膜厚度還可以測量光學(xué)常數(shù)，如果是透明薄膜且可維持光的干涉性。通過數(shù)學(xué)計算多層薄膜的每個層的厚度都可以測量。由于采用的是用戶友好界面，操作簡單。樣品不受到損害，可快速測量大范圍厚度。 4bBxZY
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光譜式量測: /iN \)y#u1
• 白光干涉, TkBBHg;
• 簡易操作,備品便宜（僅需魯素?zé)舴浅１阋耍?span style="display:none"> w7D:0SGD
• 裝機量最大（今年及去年臺灣已裝超過100 臺機器）包含長興化工, 南亞乾膜, 力特, 奇美材料, 臺虹(偏光膜) : L [bGO|O
• 價格合理維修容易。 |pgkl`
• 測試可以得到實際厚度。厚度答 案不需經(jīng)過校正直接就是實際厚度. &\H5*A.HkA
• 測試速度特快，100ms. {
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• 量測精度＋ - 1nm :mrGB3x{
• 耗材只有燈泡只需40 歐元可用半年. &wuV}S 7
• 保證人員可在一天之內(nèi)學(xué)習(xí)使用完成 )q^vitkjup
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聯(lián)系人： 王迪 9y4rw]4zI
TEL:13701285084
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