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oudexu

2008-12-21 15:26

關(guān)于波長(zhǎng)控制的一個(gè)話題

請(qǐng)教大家一個(gè)問題，機(jī)器離子濺射，在控制波長(zhǎng)方面，以往是調(diào)節(jié)試樣鏡片到靶的距離就行了，而且非常敏感。最近幾次調(diào)了很多距離也不見波長(zhǎng)有變化。請(qǐng)問造成這種情況有哪些可能呢？
膜厚控制為光學(xué)極值法。

yzhuang	2008-12-21 21:51
第一次聽說(shuō)這樣調(diào)節(jié)的,我們調(diào)節(jié)的一般是單色儀的輸出波長(zhǎng),基片位置是不動(dòng)的,補(bǔ)充一下,我的是真空蒸鍍

oudexu	2008-12-22 20:04
老式設(shè)備嘛 x2xRBkRg= 我們機(jī)器鍍膜和測(cè)波長(zhǎng)是分開的

oudexu	2008-12-22 20:10
我們機(jī)器是老式設(shè)備 /ZX}Nc g 鍍膜和波長(zhǎng)檢測(cè)是分開的

9603128	2009-03-04 22:19
我是第一次聽說(shuō)這樣調(diào)節(jié)的,我們調(diào)節(jié)的一般是單色儀的輸出波長(zhǎng),基片位置是不動(dòng)的,補(bǔ)充一下,我的是真空蒸鍍，不應(yīng)當(dāng)有這種情況的

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