| cc2008 |
2009-03-02 16:07 |
紫外激光在微細加工技術(shù)中的優(yōu)勢研究
1 引言 q+<TD#xoL
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激光技術(shù)是20世紀與原子能、半導體及計算機齊名的四項重大發(fā)明之一．四十多年來，隨著小型電子產(chǎn)品和微電子元器件需求量的日益增長，對于加工材料(尤其是聚合物材料以及高熔點材料)的精密處理日漸成為激光在工業(yè)應用中發(fā)展最快的領域之一． "xWC49
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激光加工是激光產(chǎn)業(yè)的重要應用，與常規(guī)的機械加工相比，激光加工更精密、更準確、更迅速．該技術(shù)利用激光束與物質(zhì)相互作用的特性對包括金屬與非金屬的各種材料進行加工，涉及到了焊接、切割、打標、打孔，熱處理、成型等多種加工工藝。激光獨一無二的特性使之成為微處理的理想工具，目前廣泛應用于微電子、微機械和微光學加工三大領域。 \-^3Pe,
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激光加工技術(shù)是利用激光束與物質(zhì)相互作用的特性對材料(包括金屬與非金屬)進行切割、焊接、表面處理、打孔及微加工等的一門加工技術(shù)． 3'8~H]<W
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激光加工有其獨特的特點： `|gCbs 95
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(1)范圍廣泛：幾乎可以對任何材料進行雕刻切割。 D`u{U]
(2)安全可靠：采用非接觸式加工，不會對材料產(chǎn)生機械擠壓或機械應力． 1UOFTI2S|
(3)精確細致；加工精度可達0．01mm． ;I9D> shkc
(4)效果一致：保證同一批次的加工效果一致． *Nv<,Br,F
(5)高速快捷：可立即根據(jù)電腦輸出的圖樣進行高速雕刻和切割，且激光切割的速度比線切割的速度要快很多． p0V w@R=
(6)成本低廉：不受加工數(shù)量的限制，對于小批量加工服務，激光加工更加便宜。 #]9yzyb_y
(7)切割縫隙小：激光切割的割縫一般在0.02mm-0.05mm． 56fcifXz@
(8)切割面光滑：激光切割的切割面無毛刺。 ;lGjj9we>
(9)熱變形��；激光加工的激光割縫細、速度快、能量集中，因此傳到被切割材料上的熱量小，引起材料的變形也非常小。 # 6JG#!W
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