亚洲AV日韩AV无码污污网站_亚洲欧美国产精品久久久久久久_欧美日韩一区二区视频不卡_丰满无码人妻束缚无码区_久爱WWW成人网免费视频


首頁 -> 登錄 -> 注冊 -> 回復(fù)主題 -> 發(fā)表主題
光行天下 -> 照明技術(shù) -> LED晶圓之襯底材料比較 [點此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

csk9818 2009-06-15 13:02

LED晶圓之襯底材料比較

在LED晶圓(LED外延片)制程方面，不同的襯底材料，需要不同的磊晶（晶圓生長）技術(shù)、芯片加工技術(shù)和封裝技術(shù)，襯底材料決定了半導(dǎo)體照明技術(shù)的發(fā)展路線。襯底材料的選擇主要取決于以下9個方面，襯底的選擇要同時滿足全部應(yīng)該有的好特性。所以，目前只能通過外延生長技術(shù)的變更和器件加工制程的調(diào)整來適應(yīng)不同襯底上的半導(dǎo)體發(fā)光器件的研發(fā)和生產(chǎn)。用于氮化鎵研究的襯底材料比較多，但是能用于生產(chǎn)的襯底目前只有二種，即藍寶石Al2O3和碳化硅SiC襯底。 _v:t$k#sN  
}8Tr M0q8  
如果我們來看LED襯底材料，好的材料應(yīng)該有的特性如下： DYkNP: +  
]Sg4>tp  
1.結(jié)構(gòu)特性好，晶圓材料與襯底的晶體結(jié)構(gòu)相同或相近、晶格常數(shù)失配度小、結(jié)晶性能好、缺陷密度小。 pTPWToKh  
NL%5'8F>,  
2.接口特性好，有利于晶圓料成核且黏附性強。 E'zLgU)r`  
>QV=q`I  
3.化學(xué)穩(wěn)定性好，在晶圓生長的溫度和氣氛中不容易分解和腐蝕。 p =_K P9  
{ [ QCuR  
4.熱學(xué)性能好，包括導(dǎo)熱性好和熱失配度小。 S*<+vIo  
VJ;4~WgBz  
5.導(dǎo)電性好，能制成上下結(jié)構(gòu)。 Z}6   
nn!W-Bsqjh  
6.光學(xué)性能好，制作的器件所發(fā)出的光被襯底吸收小。 6tBL?'pG  
5SKj% %B2,  
7.機械性能好，器件容易加工，包括減薄、拋光和切割等。 EEmYfP[3  
c.y8