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ttxs 2009-11-23 11:04

請(qǐng)問(wèn)有沒(méi)有在Silica上刻光波導(dǎo)方面的資料？

用集成電路的工藝來(lái)刻蝕Silicon很容易，除了在設(shè)計(jì)方面費(fèi)點(diǎn)事。 ?z4uze1  
如果我想用傳統(tǒng)的二氧化硅刻光波導(dǎo)（AWG的那些東西），工藝就不同，應(yīng)為Silica不容易刻。 ;X9MA=b  
哪位高手有用Silica刻光波導(dǎo)的資料？謝謝了。 D_,_.C~O  
gqy271 2010-06-14 14:34
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