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LED芯片的制造工藝流程
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wz82
2009-12-04 23:51
LED芯片的制造工藝流程
LED芯片的制造工藝流程如下，供相關(guān)專業(yè)人士參考學(xué)習(xí)。
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Z}\,rex
外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺(tái)圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預(yù)清洗→鍍膜→剝離→退火→P極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測(cè)試。
A/UO