| myjoy88 |
2010-01-13 17:44 |
薄膜厚度測量---激光橢偏儀
Multiple Angle Laser Ellipsometer 多入射角激光橢圓偏振儀 eAu3,qoM
產(chǎn)品特點(diǎn)： :5U(}\dL{
高精度、高穩(wěn)定性 Z?XE~6aP>
快速、高精度樣品校正 V{{ b^y
快速測量、操作簡便 vsqfvx
多角度測量 He)v:AH
樣品可水平或垂直放置 g?^o++
一體化集成設(shè)計(jì) eO (VSjo'`
橢圓偏振法簡稱橢偏法，是一種先進(jìn)的測量薄膜納米級厚度的方法。橢偏法的基本原理由于數(shù)學(xué)處理上的困難，直到本世紀(jì)40年代計(jì)算機(jī)出現(xiàn)以后才發(fā)展起來。橢偏法的測量經(jīng)過幾十年來的不斷改進(jìn)，已從手動(dòng)進(jìn)入到全自動(dòng)、變?nèi)肷浣恰⒆儾ㄩL和實(shí)時(shí)監(jiān)測，極大地促進(jìn)了納米技術(shù)的發(fā)展。橢偏法的測量精度很高(比一般的干涉法高一至二個(gè)數(shù)量級)，測量靈敏度也很高(可探測生長中的薄膜小于0.1nm的厚度變化)。 利用橢偏法可以測量薄膜的厚度和折射率，也可以測定材料的吸收系數(shù)或金屬的復(fù)折射率等光學(xué)參數(shù)。因此，橢偏法在半導(dǎo)體材料、光學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)和醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。 lp!@uoN^T
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產(chǎn)品說明： '
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