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xiangyi

2010-03-04 11:13

多層介質薄膜膜層間界面粗糙度及光散射(PDF格式論文)

多層介質薄膜膜層間界面粗糙度及光散射

摘要：利用泰勒霍普森相關相干表面輪廓粗糙度儀(Talysurf CCI)分別對基底和采用電子束熱蒸發(fā)技術沉積的15 層二氧化鈦(TiO2)和二氧化硅(SiO2)為膜料的介質高反膜的膜層間的界面粗糙度進行了研究，并對不同工藝下沉積的薄膜界面粗糙度以及不同基底粗糙度上沉積的薄膜的表面粗糙度進行了比較。實驗結果表明：TiO2薄膜對基底或下表面粗糙度有較好的平滑作用，隨著TiO2和SiO2膜層的交替鍍制，膜層間表面粗糙度呈現(xiàn)出低高交替的現(xiàn)象，隨著膜層層數(shù)的增加，膜層間界面粗糙度低高變化范圍減��；采用離子束輔助沉積工藝時，膜層間界面粗糙度低高變化范圍較小。總散射損耗的理論計算表明：中心波長處完全非相關模型下的總散射損耗小于完全相關模型下的總散射損耗。實驗結果表明：界面粗糙度的相關度約為0.4。

關鍵詞：界面粗糙度；白光干涉輪廓儀；均方根粗糙度；光散射

legendlyy	2010-03-04 12:05
seee!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!

macofyou	2010-03-10 10:22
趕快看看多謝了

jimmy58	2010-03-10 16:37
Thank you for sharing

twdrango	2010-03-31 11:37
謝謝樓主好東西哦

lzb0036	2010-04-05 08:31

mxw032	2010-05-26 21:38
謝謝指導~~~

zeephyr	2010-06-09 22:26
看看吧, 謝謝.

dewei5210	2010-06-22 16:16
TFCALC

bandri007	2010-08-03 15:04
奪取在要要求械斗

suninrain	2010-08-03 22:53
謝謝分享

qqucqquc	2010-08-06 08:57
好資料，學習學習

sunjie_optic	2010-11-20 14:21
謝謝共享散射資源

superly	2010-12-02 22:25
初學者,非常需要!! 63S1ed[ Thx.

superly	2010-12-09 15:46
感謝您的分享!!

曾令剛	2010-12-10 15:14
好東西，看看！

yuancy	2011-06-23 20:32
3Q so much

dinglingfeng	2011-06-26 09:22
這個對俺很有用，謝謝

dinglingfeng	2011-06-26 09:23
這個東東很便宜啊，謝了

老婆的老公	2011-07-06 15:22
thanks a million

philowjz	2011-07-08 11:03
實驗結果表明：界面粗糙度的相關度約為0.4

pw304518210	2011-07-15 23:44
嗯···不錯

12511895	2011-11-13 14:42
看看,好不好

luoxingyou	2011-11-13 17:09
回復是必須得！

xiaxgood	2011-11-14 15:56
用TFCALC設計的么

anomchen	2011-11-18 18:51
趕緊下載來看一看先

騎驢看本1024	2012-01-09 15:13
猶抱琵琶半遮面。。

騎驢看本1024	2012-01-09 15:15
本人是新人，沒有光幣。

騎驢看本1024	2012-01-09 15:16
正是想要的東西，非常感謝樓主

seasunshine	2012-02-15 09:08
的確得看看

hexin	2012-02-18 11:32
謝謝樓主，這方面的資料太少了

j6dk3fm3294	2012-03-03 15:44
太好了， ':2*+ 目前正要建立關於多層膜間粗糙度計算

mright829	2012-04-13 10:56
LET ME SEE

qq41894351	2012-07-05 23:40
看看吧

qq41894351	2012-07-07 21:11
趕快看看多謝

haoyanqiuqiu	2012-10-31 20:56
謝謝樓主受教了 60~>f)vu

sppkenny	2012-11-29 22:08
好期待 Jyz$&jqyr'

hmwujian	2013-03-05 18:02
奪取在要要求械斗

ysc212	2013-03-05 18:25
學習了！謝謝樓主分享！

ff小巫	2013-03-14 14:46
感謝，學習學習！

bairuizheng	2013-04-08 01:05
看看, 謝謝.

herman1234	2013-04-10 23:08
Thank you for sharing

loustrong	2013-04-18 17:46
呵呵，參考學習一下。。

339549428	2013-05-19 09:37
學習了。。謝謝分享

zhubinyz	2013-05-25 19:05
趕快看看多謝了

jokehj	2013-08-15 00:30
趕快看看多謝了

121331768	2013-09-16 10:19
好文章，多謝了。。。

eamery	2014-01-18 00:14
I see see ....

lamlin518	2014-01-22 22:34
很好的東西，謝謝樓主分享了~

mang2004	2014-01-30 19:12
thanks for share

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