| gftech |
2010-07-29 14:18 |
原位薄膜應(yīng)力儀
薄膜應(yīng)力測(cè)量系統(tǒng)，薄膜應(yīng)力測(cè)試儀，薄膜應(yīng)力計(jì)，薄膜應(yīng)力儀，F(xiàn)ilm Stress Tester, Film Stress Measurement System; % VSjMZ
1.薄膜應(yīng)力測(cè)量范圍：5×105到4*1010dynes/cm2（或者5×104Pa to 4×109Pa）； kdam]L:9
2.薄膜應(yīng)力測(cè)量分辨率：優(yōu)于0.1MPa; Yp;6.\Z8[
G2,9$8qE
3.測(cè)量精度：優(yōu)于±0.1%； tn\PxT
8iIz!l%O
4.測(cè)量重復(fù)性：優(yōu)于0.1%； w.:fl4V
/Cl=;^)
5.平均曲率分辨率：< 2e-5 (1/m) 1-sigma (50km radius) 1-sigma；
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