| asdffsafd76 |
2010-11-04 10:21 |
北京歐唐離子束拋光及薄膜沉積設備
德國Roth & Rau MicroSystems GmbH是提供將等離子體（Plasma）和離子束（ion beam）技術應用于薄膜和表面處理的加工設備及零部件的供應商。公司產(chǎn)品廣泛應用于多種工業(yè)領域，其中包括可為太陽能電池硅片進行邊緣絕緣處理的等離子體刻蝕系統(tǒng)，應用于光伏領域中的其它干法刻蝕設備，以及適用于研究和開發(fā)過程所需要的各種等離子體工藝設備�；诠驹诘入x子體領域長期積累的經(jīng)驗和對工藝過程的全面的了解，Roth & Rau公司還可提供包括等離子體源和離子束源在內的，針對不同工業(yè)領域中特殊表面處理、鍍膜、等離子體及離子束加工等方向的工藝設備系統(tǒng) z
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Roth&Rau公司在現(xiàn)代高精密薄膜沉積和表面加工處理技術中，尤其是離子束加工方向樹立了新的質量標準體系。 #\1;d8h
應用： r-'(_t~FT
離子束刻蝕： j?4k{?x
-金屬薄膜離子束銑磨（Au，Pd，Ru，Ta，Ti等），特別適用于MEMS工藝應用 jgbUZP4J>
-復雜的多層膜結構刻蝕（GMR，TMR，BAW） roY
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