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光行天下 -> 光學(xué)加工與制造 -> 納米級加工 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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jrwqz	2011-01-10 22:57
納米級加工在光學(xué)加工中有沒有能加工到納米級的？是如何檢測的？

leswen	2011-01-11 17:10
國內(nèi)加工精度要達(dá)到這么高，目前還有困難啊~；目前微米級精度比較現(xiàn)實(shí)

oldchenj	2011-01-29 21:40
請問你說的納米級具體是多少個(gè)納米，我做過五十分子一波長的。

jrwqz	2011-02-09 19:53
1nm以下的加工和測量

jrwqz	2011-02-09 19:55
1/50波長的工件直徑有多少？ QO>';ul5

haha9528	2011-02-15 22:55
目前雙光子加工聚合物可以達(dá)到納米級！

chmkbx	2012-01-20 14:38
我們能加工納米級的，檢查是取鏡面上的任意三個(gè)點(diǎn)，同時(shí)放大一千倍，要小于1nm。2樓同仁說的50分之一波長只能代表pv值，確實(shí)相當(dāng)高了，但pv值不能代表納米級表面。

lcj.214528	2012-03-23 14:44
我們加工的光學(xué)模組表面光潔度RMS可以達(dá)到10個(gè)納米（0.01UM)以下，面型精度PV或RT可以達(dá)到50-100個(gè)納米以下（0.05UM-0.1UM)。至于檢測，目前市面上有高精度的光學(xué)檢測輪廓儀。如泰勒霍普森的PGI系列，松下的UA3P，翟柯（ZYGO)設(shè)備都能檢測。

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