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2011-04-13 21:55 |
一種提高光柵尺測(cè)量精度的有效方法.PDF論文下載
一種提高光柵尺測(cè)量精度的有效方法:提出了采用多零位信號(hào)自動(dòng)消除大量程光柵尺計(jì)數(shù)累積誤差的方法,并通過(guò)在光柵尺的非零位處對(duì)計(jì)數(shù)值和清零次數(shù)的修改,解決了引入零位信號(hào)后光柵尺的絕對(duì)位移難以求取的問(wèn)題,通過(guò)采用逐步檢測(cè)的方法判斷計(jì)數(shù)值是否被誤清零而出錯(cuò),并根據(jù)出錯(cuò)前的計(jì)數(shù)值讓光柵尺通過(guò)最近的零位,自動(dòng)修正光柵尺的計(jì)數(shù)值。
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