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200713

2011-05-09 09:18

投影光刻離軸照明用衍射光學元件設計.PDF

摘要：離軸照明作為一種重要的分辨率增強技術被廣泛地應用于投影光刻系統(tǒng)。使用衍射光學元件（ＤＯＥ）作為光刻照明系統(tǒng)的光束整形器件，能夠在保持較高照明效率的基礎上精確控制離軸照明光束的形狀及光強分布。本文利用基于傅里葉變換的分步迭代方法，優(yōu)化設計了該類衍射光學元件（ＤＯＥ）。ＤＯＥ采用了多臺階位相結(jié)構，設計所得８臺階ＤＯＥ設計結(jié)果分別實現(xiàn)了偶極、四極、環(huán)形及Ｂｕｌｌｓ  Ｅｙｅ等照明方式，其照明效率都達到了８０％以上，與目標光強分布的均方根偏差均＜７％。

關鍵詞：衍射光學元件；投影光刻；分辨率增強；照明；光束整形

faithfulfans	2011-08-20 02:12
Thanks for sharing.....

mang2004	2011-08-20 19:02
多謝分享。

夜之贊歌	2011-11-07 08:26
感謝分享

lcc1017	2011-11-23 20:40
趕緊下載 x}o]R

alvons	2012-03-31 13:42
趕緊下載

bruce45	2013-02-04 12:15
看看，多謝

西河	2013-03-07 09:36
看看，多謝！ X{KWBk.1

chengzheng	2013-08-31 22:59
學習下，謝謝

chengzheng	2014-01-07 22:40
謝謝樓主分享

chengzheng	2014-04-30 19:18
感謝樓主

chengzheng	2014-04-30 19:22
感謝樓主

wlzmayers	2015-04-13 09:13
Thank you

yi臣	2015-10-11 11:20
投影光刻離軸照明用衍射光學元件設計

ecnadwodahs	2015-12-24 09:18
多謝分享

小橋流水9527	2020-07-29 21:11
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小橋流水9527	2020-07-29 21:11
非常感謝 "G6d'xkP ！

小橋流水9527	2020-07-29 22:17
感謝感謝！ D{BH~IM

1039390270	2023-02-25 14:16
趕緊下載，謝謝 3%EwA\V(

chengzheng	2023-04-28 11:13
多謝分享。

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