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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 請(qǐng)教 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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cl610	2006-05-18 19:11
請(qǐng)教哪位大俠知道ITO的電阻于充氧的關(guān)系？ EBIa%, 我們要用ITO鍍面電阻在50歐姆的透明導(dǎo)電膜，充氧控制在3.0E-2Pa,基片溫度370℃，但每次鍍出來(lái)的玻璃都發(fā)黑，請(qǐng)問(wèn)這是怎么回事？

cl610	2006-05-19 12:25
那應(yīng)該控制在多少合適呢？

flyinlove79	2006-05-24 07:43
發(fā)黑是因?yàn)椴牧衔赵斐傻�，原因很多了，比如充氧、蒸發(fā)速率、基底溫度等，這些參數(shù)在不同的機(jī)子上是不同的，需要自己做試驗(yàn)調(diào)整。

wangchao04	2006-09-12 18:18
同意樓上觀點(diǎn) 溫度應(yīng)該可以了可能還是速率的問(wèn)題

wangchao04	2006-09-12 18:18
同意樓上觀點(diǎn) 溫度應(yīng)該可以了可能還是速率的問(wèn)題

evact	2010-01-28 13:20
可以請(qǐng)問(wèn)一下,3.0e-2pa, o%/-5- 其中的3.0e-2是什么來(lái)的呢?

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