| hankerbb | 2006-06-19 10:53 |
三種激光檢測技術(shù)簡介1.原理  高頻的激光脈沖輸入下，依靠入射激光和反射激光的相位差來測量工件的瞬間位移變化，瞬間位移變化量的疊加可以描述工件輪廓的狀況。照射到工件表面光斑直徑保持為200微米左右，足夠大的參考光斑可以給干涉儀提供穩(wěn)定的參考信號。 2.國內(nèi)外研究 國內(nèi)：四川大學(xué)激光應(yīng)用技術(shù)研究所, 周肇飛教授領(lǐng)導(dǎo)的課題組 。 國外：美國的ZYGO ,WYKO 型的光干涉式輪廓儀, 英國NPL 的雙焦物鏡輪廓儀 。 3.干涉技術(shù)展望 用于在線檢測的高分辨干涉測量設(shè)備由于要適應(yīng)直接放在精密機(jī)床上工作的較嚴(yán)酷條件, 又要調(diào)整快捷, 在靈敏度方面作了一定犧牲。不過, Ra 優(yōu)于0. 2nm 的分辨力對于超精密加工在線檢測已完全滿足要求并有一定儲(chǔ)備。如果確有更高的要求, 該領(lǐng)域尚有進(jìn)一步提高靈敏度的潛力, 基于同樣原理的實(shí)驗(yàn)室用輪廓儀已經(jīng)做到分辨力優(yōu)于0. 02nm。 4.一些干涉技術(shù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果 噪聲當(dāng)量 Ra＝0.08nm  重復(fù)性測試 2σ＝0.5nm  二、激光共焦 1.原理  結(jié)合音叉與共焦原理而達(dá)到的一種非接觸的激光測量技術(shù)。 | |