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cyqdesign 2012-09-29 22:55

微光學(xué)和納米光學(xué)制造技術(shù)

《國際信息工程先進(jìn)技術(shù)譯叢:微光學(xué)和納米光學(xué)制造技術(shù)》詳細(xì)介紹了微光學(xué)和納米光學(xué)元件成功的、最新的制造工藝,重點(diǎn)強(qiáng)調(diào)了關(guān)鍵性的專業(yè)技巧,提供了最新的技術(shù)信息,內(nèi)容包括面浮雕衍射光學(xué)元件、微光學(xué)等離子體刻蝕加工技術(shù)、使用相位光柵掩模板的模擬光刻術(shù)、光學(xué)器件的電子束納米光刻制造技術(shù)、納米壓印光刻技術(shù)和器件應(yīng)用、平面光子晶體的設(shè)計(jì)和制造、三維(3D)光子晶體的制造——鎢成型法。 q7PRJX  
《國際信息工程先進(jìn)技術(shù)譯叢:微光學(xué)和納米光學(xué)制造技術(shù)》參編作者都是微納米光學(xué)制造技術(shù)領(lǐng)域的專家,代表了當(dāng)今微光學(xué)加工的領(lǐng)先水平?晒┕怆娮宇I(lǐng)域從事光學(xué)儀器設(shè)計(jì)、光學(xué)設(shè)計(jì)和光機(jī)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)(尤其是從事光學(xué)成像理論、微納米光學(xué)研究)的工程師使用,也可以作為大專院校相關(guān)專業(yè)本科生、研究生和教師的參考書。 6b8Klrar!  
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目錄 ;' W5|.ZN  
譯者序 7fE V/j  
前言 9]w0zUOL6  
第1章面浮雕衍射光學(xué)元件 :y %~9=  
1.1制造方法 WuQYEbap  
1.2周期和波長(zhǎng)比 qR<DQTO<  
1.3光柵形狀 -U $pW(~  
1.4深度優(yōu)化 @~XlI1g$i  
1.5錯(cuò)位失對(duì)準(zhǔn) '9dtIW6E  
1.6邊緣圓形化 W9Lg}[>:)  
1.7幾何形狀偏離引起形狀雙折射光柵相位響應(yīng)的變化 j)DZmGg&t  
1.8表面紋理結(jié)構(gòu) UmE{>5Pt  
1.9熔凝石英表面的紋理結(jié)構(gòu) #]N9/Hij#g  
1.10太陽電池的表面紋理結(jié)構(gòu) KEN-G  
1.11 8階熔凝石英DOE樣片的制造方法 @[RY8~  
1.12成形金屬基準(zhǔn)層的制造工藝 oMe]dK  
1.13轉(zhuǎn)印成形和第一層掩模板的刻蝕 %Eh%mMb^  
1.14轉(zhuǎn)印成形和第二層掩模板的刻蝕 "poTM[]tZ7  
1.15轉(zhuǎn)印成形和第三層掩模板的刻蝕 m wCnP8:K  
致謝 Y fA\#N0;3  
參考文獻(xiàn) kZ}u  
第2章微光學(xué)等離子體刻蝕加工技術(shù) L _y|l5  
2.1概述和回顧 b . j^US^  
2.2基本的刻蝕處理技術(shù) TjK5UML  
2.3玻璃類材料的刻蝕工藝 SkA'+(  
2.4硅材料微光學(xué)結(jié)構(gòu)的刻蝕 .rm7Sd4K  
2.5具有灰度微光學(xué)結(jié)構(gòu)的Ⅲ-V族材料的刻蝕工藝 Lx{N%;t*E  
2.6 GaN、SiC和Al2O3刻蝕微光學(xué)元件 `VE&Obp[  
2.7Ⅱ-Ⅵ族材料ZnSe和寬光譜ZnS的刻蝕工藝 cZzZNGY^ts  
2.7.1 ZnSe和ZnS光學(xué)元件的應(yīng)用 IR8&4qOs  
2.8紅外刻蝕材料——紅外玻璃IG6 =*}Mymhk(