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光行天下 -> 光學設計及經(jīng)驗 -> 光刻機鏡頭設計 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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hhxxgg00

2013-03-29 10:30

光刻機鏡頭設計

本文針對極大規(guī)模集成電路制造的工業(yè)化生產需求，開展面向 100nm 曝光節(jié)點的高數(shù)值孔徑（NA）、深紫外（DUV）投影光刻物鏡的光學設計與仿真。即綜合元件加工、檢測、鍍膜、光學材料、機械結構、照明系統(tǒng)以及分辨率增強等各項技術要求和約束，完成 NA0.75，工作波長 193nm（ArF）投影光刻物鏡的光學設計。同時為最大限度地降低投影光刻物鏡的制造成本并確保的各項性能指標，研究投影光刻物鏡可能采取的像質補償措施和方法。
CAJ文件
長春光機所博士論文

qsj98	2013-03-29 10:57
看看,學習學習.

superyu2009	2013-03-29 10:58
謝謝看看學習

qsj98	2013-03-29 11:09
已回復卻看不見博士論文 .

qsj98	2013-03-29 12:05
博士論文可以看見了,謝謝.

yu-xuegang	2013-03-29 12:31
學習學習。

zanmous	2013-03-29 12:44
看看，謝謝，支持，頂！

sms55	2013-03-29 16:17
學習學習

vurtne_000	2013-03-29 23:20
支持一下學習中

小飛	2013-03-30 13:18
看看！�。。。。。。。�！

yanguestc	2013-03-30 13:24
看看有用沒

雨雪霏霏	2013-03-30 20:07
光刻機鏡頭設計

雨雪霏霏	2013-03-30 20:10
版主是誰啊，怎么會有我大師兄的博士論文？

hotter4760	2013-03-30 21:30
用戶被禁言,該主題自動屏蔽!

農遠峰	2013-03-31 16:25
學習。謝謝

hoxomo	2013-04-01 11:08
看看,學習學習.

zhengbin	2013-04-01 11:50
學習了謝謝

gylx1206	2013-04-01 11:55
看看啥情況！�。。。�！

chenhf	2013-04-01 12:29
剛進，看不了啊。

huxingong	2013-04-01 12:56
來參觀下

hutuwa	2013-04-01 13:38
xuexi xuexi

xiaobing	2013-04-01 20:07
學習了

yisheng123	2013-04-01 21:06
謝謝看看學習

drymatini	2013-04-02 09:40
好東西，謝謝分享

姜守望	2013-04-02 12:19
看看看……

zpx1007	2013-04-02 13:35
國內高數(shù)值孔徑的光刻鏡頭幾乎是空白啊就算是設計得出來也不一定能做出來

jabil	2013-04-02 16:37
thanks

maiwudi	2013-04-02 20:27
看看支持了

光學行當	2013-04-03 12:02
學習學習

happy201314	2013-04-04 12:04
看看多謝

limje.t	2013-04-04 12:05
看看看謝謝

brighter521	2013-04-04 14:16
感謝分享！

winsword	2013-04-04 18:00
謝謝看看學習

qq41894351	2013-04-04 20:10
好像很厲害的樣子

q5909811	2013-04-04 20:32
呵呵真好 6>/g`%`N

wxb5115	2013-04-05 21:28
關注行業(yè)發(fā)展

adai22	2013-04-30 00:12
謝謝看看學習

121331768	2013-05-07 18:39
學習，謝謝了。。。

winsword	2013-05-07 19:20
挺不錯的

lizimu	2013-05-07 19:50
頂頂頂

jabil	2013-05-09 13:59
nice sharing

haseeker	2013-05-09 14:13
看看了

linsenyu1215	2013-05-09 14:16
看看！�。�1

xpwj	2013-05-09 19:51
很好，學習一下

ciomplj	2013-05-09 22:02
我想看看，謝謝了！

xiaoweizhao	2013-05-21 09:39
wa boshi lunwwen a

xiaoweizhao	2013-05-21 09:40
chage guangbi

visuangle	2013-05-21 09:43
學習了解

ajsym	2013-05-21 12:29
kankan

tassy	2013-05-22 01:53
看看,支持一下,學習中.

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