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光行天下 -> 光學薄膜設計,工藝與設備 -> 晶控儀 XDM-3K [點此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

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morningtech 2013-11-18 14:24

晶控儀 XDM-3K

大家好， SXm%X(JU  
上海膜林科技有限公司的新一代晶控儀 XDM-3K，全中文觸摸屏，操作簡單，含有多項專利技術，國產鍍膜機輕松實現(xiàn)自動化。表現(xiàn)優(yōu)異，詳情請見公司網站：morningtech.cn 9_?xAJ  
歡迎 各位不吝賜教，幫助我們進步，也幫助大家共同進步。
morningtech 2013-11-21 16:28
可用晶振片     6MHz     n|~y >w4  
頻率范圍     5MHz~6MHz, &xQM!f  
頻率分辨率     0.005Hz     DVL-qt\;n  
頻率穩(wěn)定度     1ppm     Go)$LC0Mi  
膜厚分辨率     0.002A     9qB0F_xl  
測量更新率     10Hz &Vz$0{d5  
材料數     112 [8i)/5D4  
膜系數     20, 可自動串接 !wfW0?eu  
可設定層數     112層/每膜系 ~P1~:AT  
可控制蒸發(fā)源數     3個, 0~10V, 16bit YB5"i9T2  
數字輸入     8路兼容LVTTL，功能自定義 N>!:bF  
數字輸出     10路常開繼電器，功能自定義 %L+q:naZe  
探頭數     1，支持六探頭     ) CP  
電源     90V~240V,AC, 20W @Nek;xJ  
主機尺寸 XDM-3K     438*88*300 (mm,標準工業(yè)機柜寬， 2U高度, 深300mm) X g6ezlW  
控制方法     PID     !qt2,V  
語言     多國語言(中、英、…)         mH'~pR>t  
通信接口     RS232    
morningtech 2013-11-29 10:56
傳一個成膜過程實拍圖 hy5[ L`B  
[attachment=52513]
morningtech 2013-12-05 08:37
問：什么是控制延遲？ BNu >/zGpB  
k {*QU(  
成膜初始期間，晶控儀在打開蒸發(fā)源擋板后，將其功率保持在最后一個預熔階段功率不變，直到一定延遲時間后才去自動控制蒸發(fā)源功率。這個延遲時間就是所謂的控制延遲時間。 zfeT>S+  
在蒸發(fā)源擋板剛打開時，晶振片由于受到熱沖擊而產生異常頻率變化（不是厚度帶來的），此時晶控儀根據頻率計算出來的厚度及速率不是真實值。所以晶控儀不宜馬上自動調節(jié)功率，而是延遲一定時間后再去自動控制。 _v,0"_"  
XDM晶控儀在材料參數中設置控制延遲時間。
morningtech 2013-12-14 09:28
問：什么是擋板延遲？ i})