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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 請教如何控制直流磁控濺鍍膜厚的均勻度 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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kevin980828	2005-09-08 21:44
請教如何控制直流磁控濺鍍膜厚的均勻度剛接觸濺鍍機,發(fā)現(xiàn)真空腔內(nèi)外圍比內(nèi)圍鍍的產(chǎn)品膜厚要薄很多,色差太大,請各位大俠幫忙一下,如何改善.謝謝!!!

flyinlove79	2005-09-09 12:26
首先檢查靶材表面磁場是否均勻，如果相差太大，濺射率相差會很大，就需要調(diào)整磁場分布。另外可在靶材前面放置一個修正板限制某些濺射率較大的位置。

leilinna	2008-11-20 21:25
請問樓上前輩：這塊修正板應(yīng)該是什么材料？如何放置呢？

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