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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 鍍膜色斑問(wèn)題 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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pathoptics

2014-12-04 11:49

鍍膜色斑問(wèn)題

球面平凸透鏡鍍?cè)鐾改ぃ哥R直徑36mm, 曲率半徑173mm, R<0.5 @1550+/- 40nm，膜料Ta2O5 + SiO2，烘烤溫度250，成都南光機(jī)。

相同的鍍膜參數(shù)，鍍10批次有1-2批次出現(xiàn)大比例膜層色斑，有時(shí)剛鍍完取出沒(méi)有色斑放置2天后出現(xiàn)色斑，有時(shí)剛鍍完有色斑放置幾天后色斑減淡或消失。出現(xiàn)色斑批次的光譜曲線和膜層牢固度都正常。

已排除了基片本身污染，真空腔內(nèi)污染，離子源和膜料問(wèn)題。

請(qǐng)問(wèn)導(dǎo)致膜層色斑的可能原因還有哪些？

pathoptics	2014-12-05 09:07
沒(méi)有回應(yīng)，自頂一下

sgh920	2014-12-29 08:57
是色斑還是色環(huán)，若是色環(huán)就應(yīng)該是均勻性問(wèn)題。希望幫到你

pathoptics	2015-01-14 08:58
謝謝sgh920，是色斑不是色環(huán)，已確認(rèn)過(guò)均勻性O(shè)K。此問(wèn)題不定期出現(xiàn)，有時(shí)間隔1-2個(gè)月，在1-2爐上出現(xiàn)，就像幽靈一般。

081023	2015-02-01 19:06
應(yīng)該是膜料成膜的致密性造成，現(xiàn)象和你說(shuō)的一樣，完全沒(méi)規(guī)律。而其根本原因是設(shè)備，不知你是用的哪家南光。 wph8ln"C-

hyping518	2015-03-04 03:53
很是深?yuàn)W啊

jiangguang	2015-03-10 12:24
預(yù)熔充分看看還有沒(méi)有還有充氧的位置氧氣的純度等等都是一些細(xì)節(jié)方面慢慢排查

西北風(fēng)	2015-09-17 15:50
現(xiàn)在還出現(xiàn)嗎？如果沒(méi)有可聯(lián)系我 QQ2860598589

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