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1983pengya 2015-04-01 00:12

193nm長工作距離深紫外物鏡

香港弗銳達(dá)科技有限公司推出針對193nm 40x長工作距離深紫外物鏡，工作距離可達(dá)1.5mm，NA：0.6. |O3wAxc3W  
ax$ashFO/!  
性能參數(shù) &R+/Ie#0dz  
wSoIU,I  
ITEM#COATINGMWDEFLNATFSEALSPOTSIZE
XWJ-40X-UVUV40×1.5mm4.4mm0.61μm5.3mm43.5mm1μm
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jp=z ^l  
注：有限遠(yuǎn)共軛 xR;>n[6  
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2.外形尺寸 {I'8+~|pZL  
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x=>B 6o-f  
gDbj!(tm  
3.成像質(zhì)量測試報告 d-/{@