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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 窄帶濾光片無規(guī)律漂移現(xiàn)象 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

haisheng_0_0 2015-04-13 10:54

窄帶濾光片無規(guī)律漂移現(xiàn)象

我們用光馳OTFC-1100機(jī)器做的窄帶,用間控光控控制,晶控輔助。SiO2,Ta2O5,材料。要求中心波長在1071nm,半波帶寬20nm。 P(Zj}tGN  
本來是成熟膜系,已經(jīng)做了有2年時(shí)間了,一直很穩(wěn)定, >py[g0J  
但是最近出現(xiàn)膜系無規(guī)律漂移現(xiàn)象,中心波長或漂移向長波,或短波,漂移距離從4--20nm。 [cznhIvyO  
本來出現(xiàn)漂移也是正,F(xiàn)象,但是現(xiàn)在是完全無規(guī)律啊,有可能連續(xù)3罩次是沒有變化的,也有可能是每罩次都不一樣。 0nB[Udk?  
最開始懷疑是單色儀出問題,也就是控制波長不準(zhǔn)確。送廠檢測,用廠家來替換的單色儀做了幾次,還是一樣。 5|Z8UzL  
廠家說可能 是光控托盤有問題,換了一個(gè),還是一樣。 Ki Kw,@  
其后還做了很多工作,都沒有解決問題, .Z"`:4O   
在這里請教各位同行,誰做窄帶,或者用光馳機(jī)器出現(xiàn)這種情況的是什么原因,怎么解決的? W _