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2015-04-15 17:23 |
軟X射線掠入射成像光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)
本文分析和研究了掠入射成像光學(xué)系統(tǒng)工程應(yīng)用時(shí)，環(huán)形入瞳的衍射、光學(xué)表面的散射、裝配公差和環(huán)境因素對成像質(zhì)量的影響。編寫了掠入射成像光學(xué)系統(tǒng)像質(zhì)分析軟件，該軟件能夠用來分析計(jì)算包含幾何像差、孔徑衍射、表面散射、公差及環(huán)境影響作用下的掠入射成像光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量。軟件的計(jì)算結(jié)果能夠用于指導(dǎo)掠入射成像光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)一步的優(yōu)化和制造，并對其工程應(yīng)用的可行性進(jìn)行評估。最后，使用該軟件詳細(xì)分析了本文中設(shè)計(jì)的掠入射光學(xué)系統(tǒng) 的成像質(zhì)量，根據(jù)分析計(jì)算的結(jié)果制定了系統(tǒng)研制過程中的“誤差分配圖”和加工裝調(diào)公差。 I'6 wh+
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設(shè)計(jì)了用于掠入射成像光學(xué)系統(tǒng)筒狀非球面面形測量的共路掃描長程輪廓儀（CSLTP）的光學(xué)結(jié)構(gòu)。該 CSLTP 中偏振分光棱鏡置于光學(xué)掃描頭的設(shè)計(jì)以及光束調(diào)制器的使用，降低了測量中誤差的影響，提高了測量精度。分析和研究了 CSLTP 中影響測量結(jié)果的主要誤差源。針對影響較大的兩種系統(tǒng)誤差，提出了采用反轉(zhuǎn)方法校正轉(zhuǎn)臺自身轉(zhuǎn)動誤差，采用濾波算法校正系統(tǒng)傾斜偏心誤差的方法。
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