膜系設(shè)計問題求助

請問各位光學鍍膜行業(yè)的師傅，如圖所示的膜系，從A到B的透射曲線該怎么仿真？假設(shè)環(huán)氧樹脂的折射率和玻璃相同。

[attachment=63854]

還有就是那家鍍膜企業(yè)對這種膜做的比較熟練（不包括上面的環(huán)氧樹脂。下面自帶10um二氧化硅的硅片是由我們提供的）？我們有大批訂單等著做，價格好商量，歡迎聯(lián)系 QQ53225377

greensoya	2015-06-19 10:53
幫助解決上述問題者，愿提供500光幣聊表謝意，光幣不多，一點小意思。 Z.Rb~n& X fz`^x>M

fly6947	2015-06-19 11:05
應該是在500-600之間投射峰值，紅外紫外都截止

greensoya	2015-06-19 11:19
fly6947:應該是在500-600之間投射峰值，紅外紫外都截止 (2015-06-19 11:05) 5$l9@0D.\ sB}]yw 請問能詳細說說仿真方法嗎？順便把仿真結(jié)果發(fā)上來可以嗎？類似這種膜哪個公司可以幫忙加工，您知道嗎？

崔粵鵬	2015-06-19 11:20
你好，使用薄膜軟件仿真就可以：推薦Essential Macleod

greensoya	2015-06-19 11:23
[attachment=63856][attachment=63857]

greensoya	2015-06-19 11:24
我仿真出來是上面這個樣子，感覺不對，不知道哪里設(shè)置錯了

greensoya	2015-06-19 11:26
崔粵鵬:你好，使用薄膜軟件仿真就可以：推薦Essential Macleod (2015-06-19 11:20) =3+L#P=i9 ~ l )t\|'6 謝謝 '"O&J}s; 我用的就是macleod，但是仿真出來很多紋波，不知道是不是錯了

fly6947

2015-07-30 07:49

greensoya:我仿真出來是上面這個樣子，感覺不對，不知道哪里設(shè)置錯了 (2015-06-19 11:24) -Op@y2+c

你這樣模擬其實也差不多，這個是金屬-介質(zhì)誘導濾光片，但是你的sio2非常厚，可能超過一般性規(guī)則的相干厚度（沒細算，估計也差不多了），所以模擬出來曲線很粗，其實是震蕩頻率太高；如果只研究該膜系的透射，可以把這個膜系看成是為sio2基底，SI3N4與Ag交替的膜系；
另外有個疑問，根據(jù)你的厚度，這個膜系應該是在500-600之間透射，其余截止；但是最底下的SI在1100nm以下都不透光，這樣設(shè)計有何特殊意義嗎？望交流

greensoya

2015-07-30 15:48

fly6947: Yoe les-
你這樣模擬其實也差不多，這個是金屬-介質(zhì)誘導濾光片，但是你的sio2非常厚，可能超過一般性規(guī)則的相干厚度（沒細算，估計也差不多了），所以模擬出來曲線很粗，其實是震蕩頻率太高；如果只研究該膜系的透射，可以把這個膜系看成是為sio2基底，SI3N4與Ag交替的膜系； @2|G|C/]O}
另外有個疑問，根據(jù)你的厚度，這個膜系應該是在500-600之間透射，其余截止；但是最底下的SI在1100nm以下都不透光，這樣設(shè)計有何特殊意義嗎？望交流 yI *M[0

[attachment=64584]
謝謝fly6947的詳細指導！
剛發(fā)現(xiàn)前面那幅圖仿真時的二氧化硅厚度填錯了，實際的物理厚度是10000nm，錯誤的填到了光學厚度里面。修改之后的仿真結(jié)果如圖所示，緊貼si表面的10um二氧化硅使透光曲線上出現(xiàn)了很多紋波（黑色曲線），而如果把這10um二氧化硅去掉，則曲線會比較平滑（紅色曲線）。不知道如何設(shè)計才能將這些紋波去除掉？
是的，這個膜系是在500-600之間透射，是把進入硅片的光當做透射光，而不是指透過硅片的光。我們在硅片表面用硅材料做了光探測器，可以把進入硅片的光轉(zhuǎn)換成電流。 QQ： 53225377

fly6947

2015-07-31 15:05

greensoya:[圖片] $)4GCP
謝謝fly6947的詳細指導！ hw7~i
剛發(fā)現(xiàn)前面那幅圖仿真時的二氧化硅厚度填錯了，實際的物理厚度是10000nm，錯誤的填到了光學厚度里面。修改之后的仿真結(jié)果如圖所示，緊貼si表面的10um二氧化硅使透光曲線上出現(xiàn)了很多紋波（黑色曲線），而如果把這10um二氧化硅去掉， .. (2015-07-30 15:48) <[esA9.]t

原來如此；
由于環(huán)氧樹脂和Sio2都比較厚，可以不考慮其干涉效應，模擬時先計算出100%透過率的光通過環(huán)氧樹脂的透過率為多少，如T1；；
膜層設(shè)置 Substrate為Sio2 膜層從下到上分別為 Si3N4 Ag Si3N4 Ag Si3N4 Ag Si3N4
medium 設(shè)置為Air

不過此時軟件模擬出來的透過率T2需要乘以T1才是實際透過率