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光行天下 -> 光學(xué)設(shè)計及經(jīng)驗 -> 一種新的離軸傾斜照明系統(tǒng) [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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hhxxgg00

2015-06-29 17:19

一種新的離軸傾斜照明系統(tǒng)

為了滿足超大規(guī)模集成電路的發(fā)展需要, 投影光刻技術(shù)得到了飛速發(fā)展, 投影光刻機分辨力的提高始終成為微光刻技術(shù)的核心問題。i 線和深紫外( 2 4 8n m ) 光學(xué)光刻與x 射線光刻相比就實現(xiàn)技術(shù)難點和實現(xiàn)成本而言, 已成為亞半微米微細(xì)圖形制造工藝技術(shù)中的首選設(shè)備。然而靠增大數(shù)值孔徑和縮短曝光波長提高實際分辨力是有限的, 這主要是由于焦深會隨數(shù)值孔徑的增大和波長的縮短而迅速減小, 在現(xiàn)有的半導(dǎo)體制作工藝水平下難以實現(xiàn)。為此, 尋求既不影響焦深又能提高分辨力的新方法已成為近年來人們研究的熱點, 出現(xiàn)了諸如離軸照明, 移相掩模, 光瞳濾波, 表面成像和多焦面曝光等新技術(shù)。

dahai	2015-06-29 22:59
好東西，謝謝樓主分享

hzdp	2015-06-30 15:58
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)

zcp12121212	2015-07-01 13:39
看一下~~~~

jccqqqqq	2015-07-01 13:48
看看怎么回事 r~)VGdB+

jiuxs	2015-07-01 20:55
好東西，謝謝樓主分享

optic37world	2015-07-01 22:00
很好，學(xué)習(xí)中。。。。。。。

moth	2015-07-01 22:22
..........

mang2004	2015-07-01 22:39
thanks for share.

zpx1007	2015-07-03 16:45
高大上的東西

quan416	2015-07-06 12:54
這要看看

piggyhud	2015-07-08 08:29
看看.....

seemile01	2015-07-08 12:54
看看.....

szuwcy	2015-07-08 15:01
真的這么神奇

optnicky	2015-07-08 16:48
欣賞下

1476010154	2015-07-09 19:55
來學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)

萍水相逢	2015-07-10 20:54
好東西

yuanxiaowen	2015-07-11 16:36
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí) w3d34*0$

kimclps	2015-07-13 23:05
多謝分享

anansiyu	2015-07-31 16:25
學(xué)習(xí)一下。。。

意遵守本	2015-08-04 22:22
研究的熱點

bairuizheng	2015-08-05 01:59
謝謝樓主分享

hbliu120	2015-08-31 17:10
為了滿足超大規(guī)模集成電路的發(fā)展需要,

as905360505	2015-08-31 17:17
學(xué)習(xí).學(xué)習(xí)

zzust	2015-08-31 17:35
多謝分享。

jiangym	2015-09-23 16:51
好東西，謝謝樓主分享

wellsunx	2015-11-03 14:19
thanks for share

擁抱未來	2016-01-19 10:43
看看，正在學(xué)習(xí)中

hs507xxx	2016-02-27 19:10
看一下先 #Skj#)I"

zhulei199002	2016-09-24 13:41
thanks for share.

無聊者無敵	2017-01-15 09:44
看看啊啊啊啊

fengxiaoguo1	2017-01-15 12:03
學(xué)習(xí)一下

maiwudi	2017-02-16 19:08
謝謝分享，了解一下

ra1nnn928	2018-12-06 14:50
謝謝分享

遠(yuǎn)山和葉	2019-01-03 20:39
想學(xué)習(xí)一下

qinwq7	2019-01-04 17:03
zhchiyixia

icecool258	2019-01-28 14:31
謝謝樓主分享

禪花游魚	2019-12-25 10:54
好東西，謝謝樓主分享

wmh1985	2020-01-03 10:31
多謝樓主分享

sis馬	2020-04-06 00:15
111111111111111111111111111111

夜華	2020-07-29 09:06
感謝分享

涼開水	2020-08-14 16:19
看看怎么回事

seagullze	2020-09-03 10:53
謝謝分享，學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)

willow	2020-09-08 09:15
康康康康康康康

silence唯愛	2020-09-09 11:57
這個是文獻(xiàn)？

眼濁	2020-11-28 16:05
看看，最近做個離軸照明

1484520617	2020-12-01 20:57
謝謝分享

seedvsgod2	2021-09-25 05:10
現(xiàn)在看看

zhouxin1991	2021-09-29 11:08
好東西，謝謝 &`@lB (m

mmgg998	2021-09-30 13:42
看一下

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