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991518	2017-02-20 14:38
LED外延片成長(zhǎng)工藝的解決方案早期在小積體電路時(shí)代，每一個(gè)6寸的外延片上制作數(shù)以千計(jì)的芯片，現(xiàn)在次微米線寬的大型VLSI，每一個(gè)8寸的外延片上也只能完成一兩百個(gè)大型芯片。外延片的制造雖動(dòng)輒投資數(shù)百億，但卻是所有電子工業(yè)的基礎(chǔ)。