| ttb2016 |
2017-03-21 22:35 |
微透鏡的制作工藝
微透鏡陣列作為一種重要的光學(xué)元件，具有體積小、重量輕、集成度高的特點(diǎn)，吸引了大量的目光。伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，光刻和微細(xì)加工技術(shù)的提高，自上世紀(jì)八十年代起，相繼出現(xiàn)了一系列嶄新的微透鏡陣列制作技術(shù)。由于透鏡陣列器件分為折射型微透鏡陣列和衍射型微透鏡陣列，它們?cè)谥谱鞴に囈查_(kāi)發(fā)出不同的方法。 ZOfv\(iJ;
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