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liujun0527 2017-06-07 13:56

光弛1300鍍膜機(jī)離子源柵網(wǎng)更換后氧化硅與氧化鈦匹配系數(shù)失衡,請大神幫忙分析一下

各位好,最近在生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)鍍膜機(jī)固定的2套柵網(wǎng)周期性更換后,內(nèi)外圈氧化硅與氧化鈦材料匹配系數(shù)失衡,導(dǎo)致曲線頻譜落差變大,請各大神指導(dǎo)一下從哪些方向上分析改善。 =K8z8K?  
~}@cSv'(1  
756340418 2017-06-13 09:01
修補(bǔ)正板
yzhuang 2017-06-27 11:24
一樓正解,大家一定要注意的是,離子源的狀態(tài)會影響膜層的位置均勻性,更換離子源部件或者調(diào)整離子源參數(shù)都可能會發(fā)生樓主那樣的情況
囊中蓄乾坤 2017-06-30 01:36
如果只是鍍前轟擊的話,會不會影響鍍膜的均勻性。遇到過在鍍后轟擊會引起膜層不均勻的現(xiàn)象。
拉比熊 2017-07-05 10:37
首先 檢測的是 離子源柵網(wǎng)更換是的重復(fù)性工作,其次才是MASK
奔跑的小駿馬 2017-07-22 10:14
MASK只是修正鐘罩的,而鐘罩是不變得。所以我們要從以下幾個(gè)方面去考慮: cP,bob]  
1、鐘罩是否變形,你可以從鐘罩的幾個(gè)不同的位置去取測試片對比以下特性的差異,有可能是因?yàn)殓娬肿冃危看稳〉臏y試片位置不一致導(dǎo)致特性不停的變動; (-bLP  
2、查看離子源的蒸發(fā)角度是否發(fā)生變化,主要是離子源的傾斜角度,出廠都有參數(shù)的。角度變化導(dǎo)致離子分布變化,從而影響特性; %]\IC(q  
3、電子槍系統(tǒng)是否發(fā)生變化,光斑相對于鐘罩的位置等等。 /xh/M@G3  
4、修正板是否變形,修正板機(jī)構(gòu)定位是否有變動,主要就是修正升上去后,相對于球罩的位置是否發(fā)生變化。 %7 [ Z/U=  
如果以上均沒有問題,再去考慮修正MASK。一般不要輕易的去動MASK。因?yàn)樗撬赖摹?span style="display:none"> 4lsg%b6_%,  
希望能夠幫助到你。
龔云鍵 2020-05-26 09:04
也不知道樓主解決這個(gè)問題沒有,看了好多的提問,經(jīng)常是有人幫忙出了建議,不管有么有用,問題有沒有解決,告訴一下大家也是好的呀,也能幫助一下別人遇到了此問題的人
旋律 2020-11-17 16:41
柵網(wǎng)和鍍膜傘應(yīng)該可以固定同一個(gè)使用吧? P;