打開公差數(shù)據(jù)編輯器，插入補償器操作數(shù)。為每個結(jié)構(gòu)定義3個公差操作數(shù)CMCO分別表示X軸傾斜（多重結(jié)構(gòu)第4行操作數(shù)），Y軸傾斜（多重結(jié)構(gòu)第5行操作數(shù)）和Z軸位置（多重結(jié)構(gòu)第7行操作數(shù)）。在定義補償器時，必須根據(jù)多重結(jié)構(gòu)編輯器中的操作數(shù)位置對補償操作數(shù)進行分組（所有多重結(jié)構(gòu)第4行操作數(shù)的補償器為一組，依此類推）。在公差數(shù)據(jù)編輯器的最后插入公差操作數(shù)TEZI來定義引入的波前差。此處使用標(biāo)準(zhǔn)澤尼克多項式的2到9項來定義半徑內(nèi)波前的不規(guī)則度。其中均方根誤差設(shè)置為0.5μm。

運行公差分析，并設(shè)置如下參數(shù)：