光學(xué)成像質(zhì)量評(píng)價(jià)
從幾何光學(xué)的角度看,光學(xué)系統(tǒng)只對(duì)被成像物體進(jìn)行放大或縮小,物平面上的一點(diǎn)經(jīng)過透鏡的作用,變成像平面上的一點(diǎn), 稱為“點(diǎn)點(diǎn)成像”,或“理想成像”,像和物具有等同的清晰度, 分辨率為無限高,相應(yīng)的系統(tǒng)稱為理想光學(xué)系統(tǒng)。
○ 一個(gè)設(shè)計(jì)、材料、加工、裝配調(diào)試都完美的鏡頭(無像差鏡頭),僅由于孔徑限制形成的像差稱“衍射受限”像差。其彌散斑半徑為: 其中n為折射率,F(xiàn)為F數(shù),F(xiàn)=f/D , D是入射孔徑大小, f為焦距,u為孔徑角,相關(guān)圖形稱艾里斑(Airy disk)。該系統(tǒng)稱為“衍射受限光學(xué)系統(tǒng)”,是實(shí)際光學(xué)系統(tǒng)的極限。 圖.4 艾里斑 ○ 我們注意到:即使設(shè)計(jì)加工都完美,透鏡仍然實(shí)現(xiàn)不了“點(diǎn)點(diǎn) 成像”,物點(diǎn)的像是一個(gè)艾里斑(圖4)。 ○ 也正由于設(shè)計(jì)、材料、加工、裝配調(diào)試的誤差,實(shí)際鏡頭的彌 散斑大于甚至遠(yuǎn)大于艾里斑。只有精密顯微物鏡、望遠(yuǎn)物鏡、 高級(jí)光刻制版鏡頭中心視場(chǎng)(0視場(chǎng))的彌散圓接近艾里斑。 3. 彌散圓和像質(zhì)評(píng)價(jià) ○ 彌散斑表示實(shí)際光學(xué)系統(tǒng)(像差光學(xué)系統(tǒng))對(duì)于衍射受限系統(tǒng) 的偏離,常用彌散斑來評(píng)價(jià)實(shí)際光學(xué)系統(tǒng)。 ○ 對(duì)彌散斑的要求是盡可能高的能量集中度,具體來講,要求: □ RRMS 盡量。 □ 彌散斑盡量接近圓(旋轉(zhuǎn)對(duì)稱),參見圖5。 圖5. CCD鏡頭不同視場(chǎng)的彌 |
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