想詢問有經(jīng)驗的維修人員 x83XJFPWL  
1.中和器的鎳電擊缺口有何用途 ? u4"+u"{d  
ofSOy1  
2.要如何預(yù)防鎳電擊氧化 ? >Cf`F{X'U  
\|(;q+n?k  
謝謝 4k#6)e  

通過射頻磁場的，沒有缺口，無法啟輝 y`BLIEI  
鎳氧化應(yīng)該還好解決，但濺射打到陶瓷杯上短路缺口，就影響中和器工作

鎳的熔點很低的，最初的射頻源中和器陰極大多數(shù)采用鎳。 Q.fBuF  
現(xiàn)在隨著離子源能量的提高，原廠中和器陰極應(yīng)該是用的其他耐高溫金屬。 LJ)3!Q/:  
不過鎳杯這個名稱被沿襲下來了。 cmI8Xf]"P-  
yT>T Vq/e  
你是要防止陰極氧化還是防止陰極蒸發(fā)？ ?SpI^Wn)[  
防止氧化的話只有提高氬氣純度，增加鍍膜后的冷卻時間。 }}]Y mf  
防止陰極蒸發(fā)的話，就必須用原廠陶瓷。 48DsRy  
副廠陶瓷絕緣性不好，電流損耗大，會造成過熱。

ouyuu:鎳的熔點很低的，最初的射頻源中和器陰極大多數(shù)采用鎳。 ]+lr